Publication:

Buried Power Rail Scaling and Metal Assessment for the 3 nm Node and Beyond

Date

2020

Proceedings Paper

https://doi.org/10.1109/IEDM13553.2020.9371970

Simple item page Full metadata Statistics

Author(s)

;

Varela Pedreira, Olalla

;

;

;

;

Jourdan, Nicolas

;

Devriendt, Katia

;

;

;

;

;

Hellings, Geert

;

;

Lorant, Christophe

;

Teugels, Lieve

;

Peter, Antony

;

Chan, BT

;

Schleicher, Filip

;

Demonie, Ingrid

;

Marien, Philippe

;

Sepulveda Marquez, Alfonso

;

Richard, Olivier

;

Nagesh, Nishanth

;

Lesniewska, Alicja

;

Lazzarino, Frederic

;

Ryckaert, Julien

;

;

Altamirano Sanchez, Efrain

;

;

Boemmels, Juergen

;

Demuynck, Steven

;

;

;

Biesemans, Serge

;

Dentoni Litta, Eugenio

;

Horiguchi, Naoto

Journal

na

Statistics

1899 since deposited on 2021-12-06

Acq. date: 2026-06-05